典型案例

Array段AOI檢測

應(yīng)用場景

FPD前段制程。

項(xiàng)目難點(diǎn)

需檢測的玻璃基板不僅尺寸大，且精度要求高，通常達(dá)到1-10μm。

?？品桨福喊？?6K高階線掃相機(jī)

可精確檢測出FPD前段玻璃基板形貌不良的缺陷。

應(yīng)用效果

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